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    • Mise au point d'un réacteur épitaxial CBE

      Pelletier, Hubert (Université de Sherbrooke, 2011)
      Ce projet de maîtrise consiste à l'asservissement et la mise en marche d'un réacteur d'épitaxie par jets chimiques au Laboratoire d'Épitaxie Avancée de l'Université de Sherbrooke. Le réacteur sert à la croissance dans ...