Élaboration d'un procédé de microfabrication et caractérisation de tiges suspendues pour un moteur électrostatique à micro-échelle

Abstract

Le travail effectué pour ce projet avait pour objectif la réalisation de tiges microscopiques suspendues dans le but de les utiliser ultérieurement pour la fabrication d'un micromoteur MEMS nouveau genre. Cette recherche visait aussi à fonder les bases de la réalisation de microsystèmes mécaniques à l'Université de Sherbrooke pour réaliser, dans un futur proche, une panoplie de microdispositifs. Une nouvelle géométrie de moteur électrostatique a été présentée ainsi que ses différents modes de fonctionnements. Plusieurs méthodes de fabrication ont été montrées pour la réalisation de tiges suspendues avec leurs avantages et inconvénients. La caractérisation de plusieurs résines photosensibles a été faite dont la SU8. Des électrodépositions de nickel ont été faites avec un grand taux de déposition, une précontrainte contrôlable ainsi qu'une température de déposition très faible. Des tiges suspendues faites de nickel électrodéposé ont été fabriquées avec succès. La méthode développée permet de réaliser des microstructures mobiles en peu d'étapes tout en évitant les problèmes reliés à la stiction. Ces tiges ont ensuite été fléchies par des forces électrostatiques. Le fléchissement statique des tiges a été validé avec un logiciel de simulation. Finalement, un nouveau précédé de fabrication du moteur utilisant la nouvelle méthode est proposé ainsi que quelques applications qui pourraient être réalisées.