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dc.contributor.advisorDrouin, Dominiquefr
dc.contributor.advisorBeauvais, Jacquesfr
dc.contributor.authorAyari-Kanoun, Asmafr
dc.date.accessioned2014-05-15T12:41:27Z
dc.date.available2014-05-15T12:41:27Z
dc.date.created2011fr
dc.date.issued2011fr
dc.identifier.isbn9780494833117fr
dc.identifier.urihttp://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1963
dc.description.abstractCe travail de thèse porte sur le développement d'une nouvelle approche pour la localisation et l'organisation de nanocristaux de silicium réalisés par gravure électrochimique. Cette dernière représente une technique simple et peu couteuse [i.e. coûteuse] par rapport aux autres techniques couramment utilisées pour la fabrication de nanocristaux de silicium. L'idée de ce travail a été d'étudier la nanostructuration de minces couches de nitrure de silicium, d'environ 30 nm d'épaisseur pour permettre par la suite un arrangement périodique des nanocristaux de silicium. Cette pré-structuration est obtenue de façon artificielle en imposant un motif périodique via une technique de lithographie par faisceau d'électrons combinée avec une gravure plasma. Une optimisation des conditions de lithographie et de gravure plasma ont permis d'obtenir des réseaux de trous de 30 nm de diamètre débouchant sur le silicium avec un bon contrôle de leur morphologie (taille, profondeur et forme). En ajustant les conditions de gravure électrochimique (concentration d'acide, temps de gravure et densité de courant), nous avons obtenu des réseaux -2D ordonnés de nanocristaux de silicium de 10 nm de diamètre à travers ces masques de nanotrous avec le contrôle parfait de leur localisation, la distance entre les nanocristaux et leur orientation cristalline. Des études électriques préliminaires sur ces nanocristaux ont permis de mettre en évidence des effets de chargement. Ces résultats très prometteurs confirment l'intérêt des nanocristaux de silicium réalisés par gravure électrochimique dans le futur pour la fabrication à grande échelle de dispositifs nanoélectroniques.fr
dc.language.isofrefr
dc.publisherUniversité de Sherbrookefr
dc.rights© Asma Ayari-Kanounfr
dc.subjectNitrure de siliciumfr
dc.subjectGravure plasmafr
dc.subjectLithographie électroniquefr
dc.subjectGravure électrochimiquefr
dc.subjectNanocristaux de siliciumfr
dc.subjectOrganisationfr
dc.subjectLocalisationfr
dc.titleFabrication et caractérisation de nanocristaux de silicium localisés, réalisés par gravure électrochimique pour des applications nanoélectroniquesfr
dc.typeThèsefr
tme.degree.disciplineGénie électriquefr
tme.degree.grantorFaculté de géniefr
tme.degree.levelDoctoratfr
tme.degree.namePh.D.fr


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