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dc.contributor.advisor[non identifié]fr
dc.contributor.authorBeaudin, Guillaumefr
dc.date.accessioned2014-05-14T19:52:12Z
dc.date.available2014-05-14T19:52:12Z
dc.date.created2009fr
dc.date.issued2009fr
dc.identifier.isbn9780494533680fr
dc.identifier.urihttp://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1480
dc.description.abstractAfin de rendre les télécommunications optiques disponibles au plus grand nombre, le rapport coût/fonctions entrainé par la production de composants photoniques doit être fortement réduit. Or, un procédé permet de repousser les limites des dispositifs classiques basés sur un seul matériau. Il s'agit de l'intégration hybride. Cette technique fait intervenir deux échantillons ou plus pour optimiser les composants. C'est pourquoi ce projet de maîtrise s'est concentré sur le développement de nouvelles technologies de fabrication pouvant appuyer l'hybridation. En fait, ce document aborde le sujet à partir des trois directions suivantes: Direction 1: Collage moléculaire basse température à base de titane oxydé par plasma. Dans ce premier cas, le but est d'obtenir des collages moléculaires dont la forte adhésion permet de faire de l'intégration hybride en dessous de 300 [degrés Celsius]. Pour y arriver, une couche intermédiaire de titane oxydé par plasma est utilisée. Cela rend possible le collage d'échantillons de petites tailles, de matériaux différents et possédants des microstructures. Direction 2: Intégration de réseaux de Bragg verticaux dans des circuits planaires optiques. Dans ce second cas, le but est d'intégrer des réseaux de Bragg verticaux sur des branches de jonctions"Y" grâce à une lithographie mixte (photolithographie et électrolithographie combinés). Cela rend possible l'étude de dispositifs non disponibles commercialement. Direction 3: Coupleur SU-8/Silicium à faibles pertes. Dans ce dernier cas, le but est de faire le prototypage rapide de coupleurs dont les simulations prédisent une grande efficacité de couplages (>75%). Ces composants tirent profit de la plateforme silicium-sur-isolant (SOI ) et d'une photorésine, la SU-8. Cela rend possible la fabrication et le test de la première génération de ces coupleurs. L'ensemble de ces travaux ouvre la voie à des projets de microfabrication de dispositifs photoniques hybride complets et fonctionnels à l'Université de Sherbrooke.fr
dc.language.isofrefr
dc.publisherUniversité de Sherbrookefr
dc.rights© Guillaume Beaudinfr
dc.subjectCMOSfr
dc.subjectCoupleurfr
dc.subjectSilicium-sur-isolantfr
dc.subjectRéseau de Braggfr
dc.subjectCircuit planaire optiquefr
dc.subjectHérétrostructure III-Vfr
dc.subjectCollage moléculairefr
dc.subjectIntégration hybridefr
dc.titleNouvelles technologies de fabrication associées aux composants photoniques hybridesfr
dc.typeMémoirefr
tme.degree.disciplineGénie électriquefr
tme.degree.grantorFaculté de géniefr
tme.degree.levelMaîtrisefr
tme.degree.nameM. Sc. A.fr


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