Micro-usinage au laser excimère pour le prototypage de MEMS

Abstract

De plus en plus de dispositifs miniatures appelés MEMS (Micro Electro Mechanical systems) sont développés au Canada. Parmi ces dispositifs, on retrouve notamment des capteurs (pression, accélération, température, etc.), des micro-actionneurs (électrostatiques, piézoélectriques, etc.) et une panoplie d'autres applications possibles de la mécanique et de l'électronique à petite échelle (ex. micro-laboratoire, microturbine). Les MEMS sont généralement fabriqués par des procédés de microélectronique en salle blanche (lithographie, gravure humide, DRIE, etc.). Ces méthodes ne permettent de réaliser les MEMS que par empilement de structures 2D les unes sur les autres. Cependant, l'ablation au laser s'avère être une méthode de fabrication prometteuse afin de compléter ces dernières pour le prototypage de MEMS de taille microscopique (10 *m à 10 mm typiquement). Ce projet de recherche vise donc à développer un outil permettant de réaliser, par écriture directe, l'ablation des matériaux pour créer des structures 2D et possiblement 3D à l'aide d'un laser excimère ArF (193 nm) à cette échelle. Un poste de micro-usinage à commande numérique a donc été conçu sur mesure par le GAUS en collaboration avec l'Institut National d'Optique (INO)."--résumé abrégé par UMI.