Les effets de charges pour un échantillon isolant dans un microscope électronique à balayage

Abstract

La compréhension du MEB avec un matériau conducteur est bien comprise et de nombreuses mesures ont été menées. Cependant, de par la nature de la sonde électronique, il y a un problème lorsque l'échantillon est un isolant ou un mauvais conducteur, à cause de l'accumulation de charges dans le matériau, car les électrons du faisceau incident sont piégés. Le but de cette étude est de comprendre l'influence d'une densité de charges piégées sur les trajectoires électroniques à l'intérieur d'un échantillon isolant et sur les signaux émis par celui-ci. Une diminution de la longueur de pénétration (volume d'interaction) des électrons incidents est causée par la répulsion des électrons vers la surface par le champ électrique interne. La force de Coulomb exercée par le champ a aussi comme effet d'augmenter la perte d'énergie et ainsi réduire le libre parcours moyen des électrons."--Résumé abrégé par UMI