Développement de la fabrication des dispositifs lasers pour les télécommunications

Abstract

L'amélioration de la qualité des circuits photoniques est l'un des défis majeurs de la micro-électronique pour augmenter les débits d'information dans les fibres optiques et diminuer leurs facteurs de pertes. Dans ce mémoire, des méthodes de développement de la fabrication des dispositifs lasers pour les télécommunications sont présentées. Le but de ces recherches est de diminuer le courant de seuil et de favoriser une fonctionnalité adéquate en alimentation continue des dispositifs lasers. Un procédé efficace de fabrication consiste à appliquer une gravure humide dans le but d'augmenter les performances des dispositifs lasers, fabriquer des dispositifs lasers monomodes à courant de seuil assez bas et permettre une intégration des composants photoniques sur le même circuit électronique. Une grande partie de ce travail consiste à étudier l'impact de la gravure humide sur des échantillons lasers qui ont subi différents procédés lithographiques. Ensuite, des diodes lasers à différentes largeurs de raies d'injection ont été fabriquées dans le but d'interpréter la variation du courant de seuil. Finalement, la distribution spatiale de l'intensité lumineuse des diodes lasers fabriquées à l'aide d'un montage qu'on a réalisé est étudiée. Le procédé de la gravure humide ainsi que les différentes méthodes de fabrication et de caractérisation sont expliqués en détails dans les chapitres qui suivent. Les résultats et les caractéristiques des composants obtenues sont discutés et exposés dans la dernière partie de ce travail.